描述:真空加熱臺頂升烤膠機恒溫加熱板:一種用于半導體封裝、LED制造等領域的精密設備,多用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘,如涂膠后的軟烘,暴光后烘,顯影后的堅膜,磨片粘片熔臘等芯片粘接、固化等工藝過程中的烘烤環(huán)節(jié)。其核心特點在于具備頂升功能,能夠實現(xiàn)烘烤過程中的精準時間和溫度控制,確保產(chǎn)品工藝品質。
廠商性質
生產(chǎn)廠家更新時間
2025-03-06訪問量
95產(chǎn)品分類
Product Category技術文章
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+品牌 | 君為科技 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應用領域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
真空加熱臺頂升烤膠機恒溫加熱板
產(chǎn)品特點:
l 配置硬質陽極氧化鋁耐腐蝕加熱面板
l 加熱面板均勻性好,溫控精度高,不易變形,耐腐蝕,同時具有升溫迅速,程序段控溫,控溫精準等優(yōu)點
l 7寸全彩觸摸屏,高級工業(yè)PLC控制,可實現(xiàn)自動升降,定時取片
l 可以設置頂針高度,實現(xiàn)無接觸式烤膠
l 可實現(xiàn)在真空或氮氣環(huán)境下的各種樣品加熱實驗
真空加熱臺頂升烤膠機恒溫加熱板
技術參數(shù):
1.加熱面板尺寸:220*220mm(可支持最大8寸晶圓)
2.外形尺寸:長380X寬440X高440mm 真空腔體內部尺寸:長270*寬270*高170mm
3.加熱面板材質:陽極氧化鋁合金
4.控溫范圍:室溫-160℃,溫度分辨率:0.1℃ 溫度均勻性:±1%℃ 控溫精度:±0.1 ℃ (溫度恒定時)
5.電動頂針調節(jié)高度: 0-30mm 頂升方式:自動或手動
6.支持定時升降,可儲存6組程序配方,每組配方30個加熱階段
7.最大真空度:0.1MPa
9.電源輸入:220V 1000W
10.支持 4 6 7 8 寸基片限位
實物圖片如下: